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中圖儀器SuperViewW1非接觸光學(xué)表面3d輪廓儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。其重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d輪廓儀一體化操作軟件，測量與分析同界面操作，預(yù)先配置好分析參數(shù)，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測量數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)快速批量測量。

中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀設(shè)備可以達(dá)到納米級(jí)的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)?？蓮V泛應(yīng)用于汽車零部件、半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、微納材料及制造、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高校科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器3D粗糙度輪廓儀支持拼接功能，將測量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um。

SuperViewW1 玻璃表面粗糙度測量儀數(shù)秒內(nèi)即可獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。其載物臺(tái)XY行程為140*110mm（可擴(kuò)展），Z向測量范圍可達(dá)10mm，在測量大尺寸的樣品時(shí)，可以選擇拼接測量（拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um）。

W1光學(xué)3d表面輪廓儀器采用白光干涉技術(shù)，結(jié)合具有優(yōu)異抗噪性能的3D重建算法，真實(shí)還原樣品的每一個(gè)細(xì)節(jié)，隨意翻轉(zhuǎn)縮放，都能輕松觀察、測量樣品的任意特征。