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光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理，對各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)的3d輪廓儀是用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器?？梢赃_(dá)到納米級(jí)的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的光學(xué)3d輪廓儀檢測儀對產(chǎn)品進(jìn)行高品質(zhì)監(jiān)控時(shí)不需要取下產(chǎn)品或停止生產(chǎn)，而且采用的是非接觸式光學(xué)測量，在獲得實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)的同時(shí)，不會(huì)對產(chǎn)品造成任何損傷，從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并且在線檢測，沒有滯后性，從而減少不合格品，對表面缺陷檢測亦如此。

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的3d白光輪廓儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。可以用于測試各類表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。

SuperView W1三維輪廓測量儀基于白光干涉原理，不僅用于零件的檢測，還是一種在生產(chǎn)中用于檢測軋制產(chǎn)品表面缺陷的設(shè)備，能完成缺陷尺寸的在線檢測。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperView W1系列三維表面形貌儀是以白光干涉技術(shù)為原理，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單。