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SuperViewW13d光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x可以測(cè)到12mm，也可以測(cè)到更小的尺寸，XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm，局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別，因此可測(cè)非常微小尺寸的器件。

SJ5700S大行程粗糙度輪廓儀可測(cè)量各種精密機(jī)械零件的粗糙度和輪廓形狀參數(shù)。用擬合法來(lái)評(píng)定圓弧、直線等參數(shù)。從而可測(cè)量圓弧半/直徑、直線度、角度、凸度、位置度、平行度、溝心距、傾斜度、垂直距離、水平距離、臺(tái)階等形狀參數(shù)。該儀器還可對(duì)各種零件表面的粗糙度進(jìn)行測(cè)試評(píng)定。

中圖儀器SJ5700S接觸式輪廓儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測(cè)量的測(cè)量?jī)x器，具備雙向測(cè)量功能，能測(cè)量30mm以內(nèi)的雙向輪廓尺寸；可對(duì)多次測(cè)量的輪廓曲線匹配后進(jìn)行分析測(cè)量重復(fù)性；具備60μm以下的表面薄膜臺(tái)階高度高精度測(cè)量功能。

SJ5800表面輪廓儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測(cè)量的高精度測(cè)量?jī)x器，具有12mm-24mm的粗糙度輪廓一體式測(cè)量范圍，分辨率達(dá)到0.1nm；適合測(cè)量大曲面高精密零部件的輪廓參數(shù)測(cè)量，同時(shí)具備球面、弧面、非球面輪廓參數(shù)評(píng)價(jià)功能，能夠滿足各種高精密輪廓粗糙度加工行業(yè)的測(cè)量需求。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)輪廓儀粗糙度檢測(cè)儀器以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。

中圖儀器SJ5700S粗糙度輪廓度一體機(jī)是一款大量程粗糙度輪廓一體式測(cè)量?jī)x，可測(cè)量各種精密機(jī)械零件的粗糙度和輪廓形狀參數(shù)。用擬合法來(lái)評(píng)定圓弧、直線等參數(shù)。從而可測(cè)量圓弧半/直徑、直線度、角度、凸度、位置度、平行度、溝心距、傾斜度、垂直距離、水平距離、臺(tái)階等形狀參數(shù)。